研究內容

研究設備

掃瞄式電子顯微鏡（Scaning Electronic Microstructure, SEM）。其成像原理是利用一束具有0.3~30 KV之電子束掃瞄試片表面，並將樣品所產生之訊號（如：二次電子、被散射電子）加以偵測經放大處理後，輸入到同步掃瞄之陰極射線管（CRT），以顯現試片圖形之影像。其應用範圍相當廣泛。如電子工業（半導體、IC封裝、電路板、藥水、被動元件、光電、LED、TFT-LCD、設備、微機電、構裝工程..）、化工產業（樹魯、纖維、複合材料、粉未、隔離膜、濾材..）、冶金工業（粉未治金、精密加工、鋼材、合金、鋁鎂合金、製造加工..）、傳統分析（地質分析、礦物分析、食品、藥品、生醫材料、陶瓷材料..）及特殊應用（刑事微觀分析、生物觀察..）等。

名稱：掃瞄式電子顯微鏡
型號：HITACHI S-3000N

能量分散光譜儀（Energy Dispersive Spectrometer, EDS），為一般的掃瞄式電子顯微鏡最普遍架設的X光（X-rays）能譜分析儀，擷取物質放射出來的特性X光，分析其能量散佈圖，即可知該樣品元素的組成，使原有的物性結構分析能力外，再增添化學元素分析的功能。能量分散光譜儀可作微區域成分分析，故常被用於樣品之異物分析或成分分析，且可應用在刑事或事故上的鑑定。

名稱：能量分散光譜儀

離子真空鍍金機，主要幫助掃瞄式電子顯微鏡可以透過良好的導電方式，來觀察樣品表面的微觀。

名稱：離子真空鍍金機
型號：HITACHI E-1010

表面粗糙檢度測儀，主要為檢測樣品表面之粗糙度，以做為學測之研究數據。

名稱：表面粗糙度檢測儀 

光學顯微鏡，主要為以低倍率觀察樣品表面之微觀及拍攝，若需使用高倍率觀察，則使用掃瞄式電子顯微鏡做為觀察之準則。

名稱：光學顯微鏡

洛式硬度檢測儀，主要為以檢測樣品本身之硬度檢測。

名稱：洛式硬度檢測儀